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大尺寸主轴加工方法 

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申请/专利权人:北京特思迪半导体设备有限公司

摘要:本申请公开了一种大尺寸主轴加工方法,包括:在主轴第二端安装辅助工装,将主轴第一端向下安装至中心孔磨床上,使第一端中心孔与磨床顶尖接合,通过中心孔磨床在辅助工装上磨削加工辅助中心孔;对主轴进行N次磨削加工,每次磨削加工包括:将安装有辅助工装的主轴第二端朝下,通过中心孔磨床在第一端中心孔的基础上磨削加工中心孔;在车床的头架和尾座之间安装中心架,将主轴安装至车床上并由中心架支撑主轴,通过车床对主轴的两端进行磨削加工。通过该加工方法使得一端中心孔较大的主轴也能在中心孔磨床上进行加工,并在通过车床加工过程中减少了主轴因轴长较长、两端质量分布差异较大而带来的形变,同时降低主轴热膨胀对加工精度带来的影响。

主权项:1.一种大尺寸主轴加工方法,其特征在于,所述主轴第一端具有第一端中心孔,所述第一端中心孔用于与中心孔磨床的磨床顶尖紧密接合,所述方法包括:在所述主轴第二端安装辅助工装,将所述主轴第一端向下安装至中心孔磨床上,并使所述第一端中心孔与所述磨床顶尖接合,通过所述中心孔磨床在所述辅助工装上磨削加工辅助中心孔,所述辅助中心孔用于与所述磨床顶尖紧密接合;对所述主轴进行N次磨削加工,N次所述磨削加工的加工量之和等于所述主轴的目标加工量,其中,N为大于1的整数;每次所述磨削加工包括:将安装有所述辅助工装的所述主轴第二端朝下设置,并使所述辅助中心孔与所述磨床顶尖接合,通过所述中心孔磨床在所述第一端中心孔的基础上磨削加工中心孔;将所述主轴从所述中心孔磨床上取下并拆除所述辅助工装,在车床的头架和尾座之间安装中心架,将所述主轴安装至所述车床上并由所述中心架支撑所述主轴,通过所述车床对所述主轴的两端进行磨削加工;所述主轴第二端的质量大于所述主轴第一端的质量,所述主轴第二端具有第二端中心孔;所述方法还包括:在安装所述中心架之前,将所述主轴第一端固定至所述头架,将所述尾座的尾座顶尖顶紧在所述第二端中心孔;通过所述车床在所述主轴第二端上磨削加工形成用于与所述中心架装配的环形支撑槽。

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