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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统，涉及半导体加工设备技术领域，为解决平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性无法得到有效保证的问题而设计。包括光栅安装板、随动调节装置和主动调节装置，随动调节装置包括安装于光栅安装板同一表面的柔性连接器、振动阻尼器和随动刚度阻尼器，柔性连接器用于支撑光栅安装板，振动阻尼器用于吸收光栅安装板的高频振动，随动刚度阻尼器用于吸收光栅安装板的中低频振动；主动调节装置用于获取光栅安装板的当前信号，并根据当前信号提供光栅安装板沿X向、沿Y向和沿Z向的主动位移调节，当前信号包括加速度信号和位移信号。本发明能够保证平面光栅在工作状态下的结构动态稳定性。
主权项：1.一种光栅安装板结构，其特征在于，能够与计量框架010固定连接，所述光栅安装板结构包括光栅安装板050、随动调节装置041和主动调节装置042，其中，所述随动调节装置041包括安装于所述光栅安装板050同一表面的柔性连接器100、振动阻尼器200和随动刚度阻尼器300，所述柔性连接器100用于支撑所述光栅安装板050，所述振动阻尼器200用于吸收所述光栅安装板050的高频振动，所述随动刚度阻尼器300用于吸收所述光栅安装板050的中低频振动；所述主动调节装置042安装于所述光栅安装板050，用于获取所述光栅安装板050的当前信号，并根据所述当前信号提供所述光栅安装板050沿X向、沿Y向和沿Z向的主动位移调节，所述当前信号包括加速度信号和位移信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 一种光栅安装板结构及平面光栅测量系统
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