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申请/专利权人：清华大学
摘要：本申请公开了一种紧凑型、高光谱分辨率、宽波段覆盖以及高通量的光栅光谱仪，该光栅光谱仪中，入射模组出射的第一汇聚光束聚焦于准直与成像镜的第一焦点，而后变成第一发散光束离轴入射至准直与成像镜，经准直与成像镜反射为第一准直光束入射至中阶梯色散光栅，经中阶梯色散光栅色散后变成第一色散光束，且第一色散光束所在平面与第一准直光束所在平面具有夹角，第一色散光束再经准直与成像镜反射为第二汇聚光束聚焦于准直与成像镜的第二焦点，被位于第二焦点的反射镜反射为第二发散光束离轴入射至准直与成像镜，经准直与成像镜反射为第二准直光束入射至交叉色散模组，经交叉色散模组的交叉色散分离后变成第二色散光束，最后经成像模组聚焦成像。
主权项：1.一种光栅光谱仪，其特征在于，包括沿光路传输方向设置的入射模组、准直与成像镜、中阶梯色散光栅、反射镜、交叉色散模组和成像模组；所述入射模组出射的第一汇聚光束聚焦于所述准直与成像镜的第一焦点，经所述第一焦点后变成第一发散光束，所述第一发散光束离轴入射至所述准直与成像镜，经所述准直与成像镜反射为第一准直光束入射至所述中阶梯色散光栅；所述中阶梯色散光栅位于所述准直与成像镜的第一焦点对应的瞳面位置，所述第一准直光束所在平面与所述中阶梯色散光栅的闪耀平面具有夹角，且所述第一准直光束在所述闪耀平面的投影光束以闪耀角入射，所述闪耀平面为过所述中阶梯色散光栅的光栅法线且与光栅垂直的平面，使得所述第一准直光束经所述中阶梯色散光栅色散后变成第一色散光束，且所述第一色散光束所在平面与所述第一准直光束所在平面具有夹角；所述第一色散光束经所述准直与成像镜反射为第二汇聚光束聚焦于所述准直与成像镜的第二焦点，被位于所述第二焦点的所述反射镜反射为第二发散光束，所述第二发散光束离轴入射至所述准直与成像镜，经所述准直与成像镜反射为第二准直光束入射至所述交叉色散模组；所述交叉色散模组位于所述准直与成像镜的第二焦点对应的瞳面位置，且所述交叉色散模组的色散方向与所述中阶梯色散光栅的色散方向垂直，使得所述第二准直光束经所述交叉色散模组的交叉色散分离后变成第二色散光束，所述第二色散光束经所述成像模组聚焦成像。
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