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申请/专利权人：西安中科微精光子科技股份有限公司

摘要：本发明实施例公开了一种基于激光扫描策略的刻蚀成形方法，该方法可以包括：依据待加工模型的三维刻蚀模型，提取n层二维平面刻蚀图形，其中，n为大于等于3的整数，以比较面积比率大小的方式分别对所述n层二维平面刻蚀图形进行区域划分，针对划分后的二维平面刻蚀图形上的各个区域输入不同的激光扫描能量进行刻蚀。通过上述方法解决了激光刻蚀加工的表面尺寸精度低、刻蚀曲面的表面质量差及刻蚀深度失真的问题，另一方面，解决激光刻蚀工艺周期长，激光刻蚀加工效率低，且对待刻蚀的零件存在特征曲面选择性的问题。

主权项：1.一种基于激光扫描策略的刻蚀成形方法，其特征在于，所述方法包括：依据待加工模型的三维刻蚀模型，提取n层二维平面刻蚀图形；其中，n为大于等于3的整数；以比较面积比率大小的方式分别对所述n层二维平面刻蚀图形进行区域划分；针对划分后的二维平面刻蚀图形上的各个区域输入不同的激光扫描能量进行刻蚀，其中，所述依据待加工模型的三维刻蚀模型，提取n层二维平面刻蚀图形，包括：第一步，将所述待加工模型的三维刻蚀模型导入特定坐标系，所述特定坐标系包括工作坐标系和笛卡尔坐标系；第二步，获取所述待加工模型的三维刻蚀模型的曲面轮廓坐标集合Lm＝{xcm，ycm，zcm，im，jm，km}，其中，m代表点坐标数量且m为整数；xcm，ycm，zcm代表所述待加工模型的三维刻蚀模型在工作坐标系中在x、y、z方向的矢量投影，im，jm，km代表所述待加工模型的三维刻蚀模型在笛卡尔坐标系中的法向矢量投影；第三步，基于所述集合Lm沿所述待加工模型的三维刻蚀的法线方向将所述加工模型的三维刻蚀模型划分为n层平面刻蚀图形，获得n层平面刻蚀图形合集D＝{D1，D2，D3…Dn}，其中，所述以比较面积比率大小的方式分别对所述n层二维平面刻蚀图形进行区域划分，包括：第一步，计算所述合集D中每层平面刻蚀图形的面积并获得集合S＝{S1，S2，S3…Sn}，同时确定所述集合S中的最小面积Smin；第二步，计算平面刻蚀图形Dξ的曲率半径集合Rξ＝{R1，R2…Rg}，其中，Dξ∈D，ξ∈[1，n]且ξ为整数，g为所述平面刻蚀图形Dξ的曲率半径的数量，g为整数；第三步，根据公式获得所述n层平面刻蚀图形的面积比率，其中，Sξ∈S，ξ∈[1，n]且ξ为整数，依据面积比率的大小依次对所述n层平面刻蚀图形从小到大进行排序并生成排序后的面积集合S’＝{S1’，S2’，S3’……Sn’}，并依据所述集合S’获得排序后的平面刻蚀图形合集D’＝{D1’，D2’，D3’…Dn’}；第四步，在所述集合S’中当时，则将Dσ’的曲率半径集合投影至以对进行区域划分，其中且σ、为整数，依次比较所述集合S’中的n个面积，对所述合集D’中的每个平面刻蚀图形进行区域划分获得区域划分后的平面刻蚀图形合集D”＝{D1”，D2”，D3”…Dn”}，其中，平面刻蚀图形Dξ”上具有ξ-1个平面刻蚀图形的曲率半径集合的投影，存在ξ个刻蚀能量填充区域，其中Dξ”∈D”，ξ∈[1，n]且ξ为整数。

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