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申请/专利权人：广东省科学院中乌焊接研究所
摘要：本发明公开了一种掺杂型高熵合金薄膜的制备技术及其应用，涉及电化学技术领域。掺杂型高熵合金薄膜的制备技术包括如下步骤：采用磁控溅射技术在基材上制备掺杂型高熵合金薄膜，掺杂元素为非金属元素；溅射高熵合金的靶材采用直流电源；溅射固态非金属的靶材采用射频电源，并将固态非金属靶材与高熵合金靶材进行共溅射；溅射气态非金属时，将气态非金属加入溅射气体中形成混合气进行溅射。该技术具有效率高、过程绿色环保无污染、薄膜与基材附着良好、操作简单且过程便于控制，制备的非金属掺杂型高熵合金薄膜元素分布均匀，非金属掺杂型高熵合金薄膜电极材料可广泛应用在电化学领域。
主权项：1.一种掺杂型高熵合金薄膜制备技术，其特征在于，其包括如下制备步骤：采用磁控溅射技术在基材上制备掺杂型高熵合金薄膜，掺杂元素为非金属元素；所述非金属元素选自固态非金属和气态非金属中的至少一种；溅射所述高熵合金的靶材采用直流电源；溅射所述固态非金属的靶材采用射频电源，并将所述固态非金属的靶材与所述高熵合金的靶材进行共溅射；溅射所述气态非金属时，将所述气态非金属加入溅射气体中形成混合气进行溅射；按体积分数计，所述气态非金属的用量为所述溅射气体的用量的0-30％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东省科学院中乌焊接研究所 一种掺杂型高熵合金薄膜的制备技术及其应用
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