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申请/专利权人：烟台大学
摘要：本发明公开了一种ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜的制备方法，属于纳米薄膜技术领域，对Ti‑6Al‑4V衬底进行超声清洗后，置于干燥箱内干燥后放入磁控溅射装置的真空腔体内，将ZrNbTiCrCu靶材安装在磁控溅射装置的靶位上；向真空腔体内通入Ar气体，调节工作压强，利用直流电流令ZrNbTiCrCu靶材进行溅射；溅射结束后，将真空腔体冷却至室温，得到ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜。本发明利用磁控溅射技术，在高熵合金薄膜体系中引入Cu元素，制备得到了一种同时兼备优异耐腐蚀性能、生物相容性和抗菌性能的高熵合金薄膜。同时，利用磁控溅射技术制备的高熵合金薄膜通用性极佳，制备过程中基体升温慢，涂层结构致密、性能优异。
主权项：1.一种ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对Ti-6Al-4V衬底进行超声清洗后，置于干燥箱内干燥；S2、将清洗干燥后的衬底放入磁控溅射装置的真空腔体内，将ZrNbTiCrCu靶材安装在磁控溅射装置的靶位上；S3、向真空腔体内通入Ar气体，调节工作压强，利用直流电流令ZrNbTiCrCu靶材进行溅射；S4、溅射结束后，将真空腔体冷却至室温，得到ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜；步骤S2中，Ti-6Al-4V衬底温度为室温，ZrNbTiCrCu靶材与Ti-6Al-4V衬底的距离为12cm~13cm，真空腔体内的真空度为1.1×10-4Pa；步骤S3中，真空腔体内的工作压强为0.8Pa，溅射电流为0.1A~1.5A，Ar气体的流速为75sccm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台大学 一种ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜的制备方法
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