买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
摘要:本发明公开了一种CVD反应器的温度控制方法和系统,该CVD反应器的温度控制方法包括获取CVD反应器内各基片的当前顶部温度、预设顶部平均温度、基片载台的当前底部平均温度和CVD反应器的基片容纳数量,以及与各基片对应的各传热气体的当前组分系数;根据各当前顶部温度、预设顶部平均温度、当前底部平均温度和CVD反应器的基片容纳数量,确定基片载台的底部加热温度,并控制CVD反应器以底部加热温度对基片载台进行加热;根据各基片的预设顶部平均温度、当前顶部温度、CVD反应器的基片容纳数量、当前底部平均温度和各当前组分系数,确定各基片对应的各传热气体的调整组分系数,并控制CVD反应器以调整组分系数调整各传热气体的组分系数。
主权项:1.一种CVD反应器的温度控制方法,其特征在于,包括:获取所述CVD反应器内各基片的当前顶部温度、预设顶部平均温度、基片载台的当前底部平均温度和所述CVD反应器的基片容纳数量,以及与各所述基片对应的各传热气体的当前组分系数;根据各所述当前顶部温度、所述预设顶部平均温度、所述当前底部平均温度和所述CVD反应器的基片容纳数量,确定所述基片载台的底部加热温度,并控制所述CVD反应器以所述底部加热温度对所述基片载台进行加热;根据各所述基片的所述预设顶部平均温度、所述当前顶部温度、所述CVD反应器的基片容纳数量、所述当前底部平均温度和各所述当前组分系数,确定各所述基片对应的各所述传热气体的调整组分系数,并控制所述CVD反应器以所述调整组分系数调整各所述传热气体的组分系数。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 一种CVD反应器的温度控制方法和系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。