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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：试样支承体是试样的成分的离子化中使用的试样支承体。试样支承体具备：基板、导电层和多个颗粒。基板具有主面和在主面开口的多个孔。导电层以不堵塞孔的方式设置于主面。多个颗粒设置于导电层的表面。多个颗粒对离子化中使用的能量线的吸收率为导电层对能量线的吸收率以上。
主权项：1.一种试样支承体，其中，该试样支承体是试样的成分的离子化中使用的试样支承体，具备：具有主面和在所述主面开口的多个孔的基板；以不堵塞所述孔的方式设置于所述主面的导电层；和设置于所述导电层的表面的多个颗粒，所述多个颗粒对所述离子化中使用的能量线的吸收率为所述导电层对所述能量线的吸收率以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 试样支承体和试样支承体的制造方法
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