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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种微机械膜片系统，所述微机械膜片系统具有第一膜片和第二膜片和布置在所述第一膜片与所述第二膜片之间的间距元件。至少一个间距元件具有第一支承元件和第二支承元件。第一支承元件面向第一膜片。第二支承元件面向第二膜片。第一支承元件和第二支承元件经由弹簧元件连接。
主权项：1.微机械膜片系统100，所述微机械膜片系统具有第一膜片110和第二膜片120和布置在所述第一膜片110与所述第二膜片120之间的间距元件130，其中，至少一个间距元件130具有第一支承元件131和第二支承元件132，其中，所述第一支承元件131面向所述第一膜片110，其中，所述第二支承元件132面向所述第二膜片120，其中，所述第一支承元件131和所述第二支承元件132经由弹簧元件140连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械膜片系统
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