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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明提供一种基于Parylene‑c聚合物的柔性电容式微机械超声换能器及其制备方法。本发明的换能器可基于Parylene‑c聚合物与金属薄膜构建振动薄膜，从而发射超声，其单元结构自上而下包括起封装作用的上侧Parylene‑c层、上侧金属薄膜电极层、上侧Parylene‑c隔离层、空腔、下侧Parylene‑c隔离层、下侧金属薄膜电极层、下侧柔性衬底层。本发明的振动薄膜结构功能层在制备时主要通过Parylene‑c化学气象沉积工艺以及RIE刻蚀工艺实现，相比现有聚合物式电容微机械超声换能器中以SU‑8光刻胶作为功能层并通过旋涂加热固化的方式制备功能层薄膜，化学气象沉积法制备薄膜其厚度更均匀、致密、不引入气泡、无应力，器件一致性、稳定性更好，制备难度更低、成功率、良品率更高。
主权项：1.一种基于Parylene-c聚合物的柔性电容式微机械超声换能器，其特征在于，由所述电容式微机械换能器单元阵列式组合形成超声换能器；所述电容式微机械超声换能器单元结构自上而下包括上侧Parylene-c层、上侧金属薄膜电极层、上侧Parylene-c隔离层、空腔、下侧Parylene-c隔离层、下侧金属薄膜电极层、下侧柔性衬底层；其中：所述上侧Parylene-c层、上侧金属薄膜电极层和上侧Parylene-c隔离层形成振动薄膜层，用于进行薄膜式弯曲振动而发射超声波；所述上侧Parylene-c隔离层、下侧Parylene-c隔离层之间形成所述空腔；所述下侧金属薄膜电极层与上侧金属薄膜电极层构成平行板电容，在两电极层间施加电压，两极板间产生静电力作用，从而带动振动层弯曲振动变形；所述上侧金属薄膜电极层和下侧金属薄膜电极层为图案化的导电功能层；所述上侧Parylene-c隔离层、下侧Parylene-c隔离层在上侧金属薄膜电极层与下侧金属薄膜电极层之间，用于防止上下电极层之间短路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 基于Parylene-c聚合物的柔性电容式微机械超声换能器及其制备方法
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