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申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所
摘要：本发明涉及一种用于超高功率ECR离子源的直冷式等离子体电极，包括基体和盖板，其中，基体为横截面是凸型且一侧开口的壳体结构，盖板为C形结构；基体内设置有盖板，基体与所板之间的容置空间形成C形水槽；对应于C形水槽的位置，基体上开设有用于ECR离子源中弧腔的水流流入流出的两个腰形孔；基体的外凸处中心开设有用于引出离子束的引出孔；对应于引出孔的位置，基体内的两侧设置有利于离子束引出和传输的斜度，该直冷式等离子体电极与弧腔完全接触，两者处于同等电位，能够避免水路在引出电极之间的绝缘，避免在引出区域设置绝缘水路，保证引出端的高真空流导，降低高压间打火的风险，本发明可以广泛应用于离子源领域中。
主权项：1.一种用于超高功率ECR离子源的直冷式等离子体电极，其特征在于，包括基体和盖板，其中，所述基体为横截面是凸型且一侧开口的壳体结构，所述盖板为C形结构；所述基体内设置有所述盖板，所述基体与所述盖板之间的容置空间形成C形水槽；对应于所述C形水槽的位置，所述基体上开设有用于ECR离子源中弧腔的水流流入流出的两个腰形孔；所述基体的外凸处中心开设有用于引出离子束的引出孔；对应于所述引出孔的位置，所述基体内的两侧设置有利于离子束引出和传输的斜度；所述基体的开口侧向外延伸有用于进行阻挡以保护后端设备的长尾；该直冷式等离子体电极与弧腔完全接触，两者处于同等电位，能够避免水路在引出电极之间的绝缘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院近代物理研究所 一种用于超高功率ECR离子源的直冷式等离子体电极
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