龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：一种重叠度量工具可包含：照射源；照射光学器件，其用以使一或多个照射束照射具有周期性特征的重叠目标；聚集光学器件，其用以将衍射光从所述重叠目标的所述周期性特征引导到检测器；可调整光瞳掩模，其位于光瞳面处；及控制器。所述可调整光瞳掩模可包含一或多个可个别寻址控制区带，所述一或多个可个别寻址控制区带跨越所述光瞳面的一或多个部分分布以提供可调整光瞳透射率分布。所述控制器可引导所述可调整光瞳掩模以提供与选定重叠度量方案对应的选定光瞳透射率分布，其中所述选定光瞳透射率分布对应于提供一组选定衍射级从所述目标到所述检测器的透射的所述一或多个控制区带的选定配置。
主权项：1.一种重叠度量工具，其包括：照射源；一或多个照射光学器件，其经配置以使来自所述照射源的一或多个照射束照射样本上的重叠目标，其中所述重叠目标包含沿着一或多个测量方向的周期性特征；一或多个聚集光学器件，其经配置以将衍射光从所述重叠目标的所述周期性特征引导到检测器；可调整光瞳掩模，其位于光瞳面处，其中所述光瞳面对应于聚集光瞳面，其中所述可调整光瞳掩模包含跨越所述光瞳面的一或多个部分分布的一或多个控制区带，其中所述一或多个控制区带能够个别寻址以提供可调整光瞳透射率分布，其中所述可调整光瞳透射率分布提供对衍射光在所述光瞳面的相应所述一或多个部分中穿行到所述检测器的选择性控制；及控制器，其通信耦合到所述可调整光瞳掩模，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令从而使得所述一或多个处理器：引导所述可调整光瞳掩模以提供与选定重叠度量方案对应的选定光瞳透射率分布，其中所述选定光瞳透射率分布对应于提供一组选定衍射级从所述目标到所述检测器的透射的所述一或多个控制区带的选定配置；且基于来自所述检测器的测量数据确定沿着所述一或多个测量方向的重叠测量。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号