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申请/专利权人：华祥(河南)新材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及多晶金刚石制备技术领域，且公开了一种用于MPCVD制备多晶金刚石的基片台承载装置，包括基板台主体，所述基板台主体上设置有弧形凸起台组件，所述弧形凸起台组件呈阶梯形设置，所述弧形凸起台组件的底部固定连接有螺纹柱，所述基板台主体上相对于所述螺纹柱的位置开设有螺纹槽，所述螺纹柱和所述螺纹槽之间螺纹连接。该用于MPCVD制备多晶金刚石的基片台承载装置，通过设置弧形凸起台组件，可以在多晶金刚石生长后，使其形状多样化，从而满足市场需求，同时可以避免多晶金刚石生长后过于平整，进而便于对其进行加工，解决了现有技术中金刚石的形状统一，且钼台十分平整导致加工比较困难无法满足市场需求的问题。
主权项：1.一种用于MPCVD制备多晶金刚石的基片台承载装置，包括基板台主体1，其特征在于：所述基板台主体1上设置有弧形凸起台组件2，所述弧形凸起台组件2呈阶梯形设置，所述弧形凸起台组件2的底部固定连接有螺纹柱3，所述基板台主体1上相对于所述螺纹柱3的位置开设有螺纹槽4，所述螺纹柱3和所述螺纹槽4之间螺纹连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华祥(河南)新材料科技有限公司 一种用于MPCVD制备多晶金刚石的基片台承载装置
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