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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开一种基于电子束激发的等离子体离子源，涉及光学元件与微纳结构离子束加工技术领域，该等离子体离子源包括：微波电子发射装置和等离子体增强电离装置；微波电子发射装置，包括：微波放电腔、电子产生部和电子提取栅网；电子产生部设置在微波放电腔的底部；电子提取栅网位于微波放电腔的顶部；微波放电腔内注入中性气体；中性气体在电子产生部电离产生电子；电子提取栅网用于在设定负电压下将电子流和未被电离的中性气体加速引入等离子体增强电离装置；等离子体增强电离装置对电子流进行再次加速，并使再次加速的电子流与引入的中性气体碰撞产生等离子体。本发明结合直流离子源和电子束激发离子源的特点，不仅气体电离率高且成本低。
主权项：1.一种基于电子束激发的等离子体离子源，其特征在于，包括：微波电子发射装置和等离子体增强电离装置；所述微波电子发射装置，包括：微波放电腔、电子产生部和电子提取栅网；所述电子产生部设置在所述微波放电腔的底部；所述电子提取栅网位于所述微波放电腔的顶部；所述微波放电腔内注入中性气体；所述电子产生部用于产生梯度磁场，并将设定功率的微波馈入所述梯度磁场以形成电子回旋共振区；所述电子回旋共振区用于对进入的中性气体进行电离产生电子；所述电子提取栅网用于在设定负电压下对所述电子进行加速形成电子流，并将所述电子流和未被电离的中性气体引入所述等离子体增强电离装置；所述等离子体增强电离装置用于对所述电子流进行再次加速，并使得再次加速的电子流与引入的中性气体产生碰撞产生等离子体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种基于电子束激发的等离子体离子源
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