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申请/专利权人：上海芯东来半导体科技有限公司
摘要：本申请提供了一种高精度的调平装置、调平台以及调平方法，属于高精度调平技术领域。针对调平装置在具有高精度调平功能的情况下，如何降低主动调平机构的控制难度和运作成本的问题，本申请提供了一种高精度的调平装置，包括驱动组件和传动组件。可以基于滚珠丝杆和刚性支撑件，将滚珠丝杆的转动行程转化为刚性支撑件支撑面高度上的位移，通过拉伸组件，消除刚性支撑件与滚珠丝杆之间的回程间隙，保证刚性支撑件到位后的支撑稳定性；并采用多个位移检测装置实现对刚性支撑件位移精准监控；从而通过采用机械传动式的主动调平方案，保证了调平后的稳定性和可靠性，同时通过多种措施消除机械传动过程中的误差，保证了调平装置的调节精度。
主权项：1.一种高精度的调平装置，其特征在于，包括：调平基板，传动组件和驱动组件；所述驱动组件通过所述传动组件与所述调平基板连接，并调节所述调平基板的高度；所述驱动组件包括刚性底座以及沿第一方向设置于所述刚性底座的滚珠丝杆；所述滚珠丝杆的一端通过联轴器连接有驱动件，另一端通过联轴器设置有第一位移检测单元；所述滚珠丝杆活动设置有刚性支撑件，所述刚性支撑件包括与所述滚珠丝杆配合的驱动部，以及背离所述驱动部的支撑面；所述刚性支撑件的一端设置有拉伸组件，所述拉伸组件用于对所述刚性支撑件施加沿第一方向的预紧力；所述驱动件通过驱动所述滚珠丝杆转动带动所述刚性支撑件在第一方向上位移，且所述刚性支撑件的支撑面，在所述第一方向上的支撑高度呈连续变化；所述滚珠丝杆的两侧分别设置有第二位移检测单元和第三位移检测单元；所述第一位移检测单元根据所述滚珠丝杆的转动检测所述刚性支撑件在第一方向上的位移；所述第二位移检测单元用于检测所述滚珠丝杆上所述刚性支撑件在第一方向上的限位位置；所述第三位移检测单元用于检测所述刚性支撑件的零位到位状态。
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