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申请/专利权人：无锡奇众电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了伯努利手臂，包括连接基板，所述连接基板的背面开设有两个凹槽，每个所述凹槽的内壁均开设有通风槽，两个所述凹槽的内部分别设有第一密封后壳和第二密封后壳，每个所述凹槽的内壁均开设有两组气槽，本实用新型通过除去晶圆边缘和夹持卡爪之间的接触之外，晶圆表面不会和手指的其他部分发生接触，相对于真空吸附方式的机械手指，伯努利原理机械手指的吸附力会分散在整个晶圆表面，更适合于减薄晶圆的传输，便于传输，将其放入晶圆框架盒、或者预对准器以及检查盘上，伯努利手臂，能够在不接触晶圆的情况下抓住晶圆，它的有效间距可达2mm，因此可以从载体系统抓取晶片，通过多个旋风吸盘可以对圆晶的吸附力分布更加均匀。
主权项：1.伯努利手臂，包括连接基板2，其特征在于：所述连接基板2的背面开设有两个凹槽16，每个所述凹槽16的内壁均开设有通风槽15，两个所述凹槽16的内部分别设有第一密封后壳11和第二密封后壳13，每个所述凹槽16的内壁均开设有两组气槽10，每个所述气槽10的内壁均开设有抽气孔8，所述连接基板2的正面固定镶嵌有两组旋风吸盘5，两组所述气槽10分别与两组旋风吸盘5相连通，所述连接基板2的背面通过螺钉固定安装有盖板12。
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权利要求：
百度查询： 无锡奇众电子科技有限公司 伯努利手臂
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