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申请/专利权人：塞姆西斯科有限责任公司
摘要：本公开涉及一种用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置，一种用于固持基底以对基底进行表面处理的夹持模块，以及一种组装用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置的方法。所述用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置包括：夹持支架和驱动单元。从横截面看，所述夹持支架包括：第一臂和第二臂。第一臂可相对于第二臂移动至基底的接收位置且第一臂与第二臂之间保持接收距离。第一臂可相对于第二臂移动至基底的固定位置且第一臂与第二臂之间保持固定距离。所述固定距离小于接收距离。所述驱动单元至少部分地被所述夹持支架包围。所述驱动单元至少有一部分可相对于夹持支架移动，以将第一臂移动至接收位置或固定位置。
主权项：1.一种用于固定基底20以对基底20进行表面处理的夹持装置10，包括：-夹持支架11，以及-驱动单元12，包括可充气主体，其中，从横截面看，所述夹持支架11包括第一臂13和第二臂14，其中，所述第一臂13可相对于所述第二臂14移动至基底20的接收位置，且所述第一臂13和所述第二臂14之间保持接收距离，以及移动至基底20的固定位置，且所述第一臂13与所述第二臂14之间保持固定距离，其中，所述固定距离小于所述接收距离，其中，所述驱动单元12至少部分地被所述夹持支架11包围，其中，所述驱动单元12的可充气主体相对于所述夹持支架11可充气，以将所述第一臂13移动至所述接收位置或固定位置，以及其中所述驱动单元12包括至少部分沿所述驱动单元12的纵轴L延伸的通道18和至少一个与所述通道18相连并指向所述夹持支架11以将液体或气体施加到所述基底20和或所述夹持支架11的开口19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 塞姆西斯科有限责任公司 用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置
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