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申请/专利权人：三菱综合材料技术株式会社;胜高股份有限公司
摘要：该搬送装置用于搬送被形成为平板状且设置有贯通孔的载体、以及被收纳于贯通孔内的基板，该搬送装置包括：第一保持部，用于从载体的厚度方向保持载体的外周部；以及第二保持部，用于从厚度方向保持贯通孔内的基板，第一保持部和第二保持部中的至少一方能够在厚度方向上伸长或收缩，以使被第一保持部保持的载体和被第二保持部保持的基板彼此分离。
主权项：1.一种搬送装置，用于搬送被形成为平板状且设置有贯通孔的载体、以及被收纳于所述贯通孔内的基板，所述搬送装置包括：第一保持部，用于从所述载体的厚度方向保持所述载体的外周部；以及第二保持部，用于从所述厚度方向保持所述贯通孔内的所述基板，所述第一保持部和所述第二保持部中的至少一方能够在所述厚度方向上伸长或收缩，以使被所述第一保持部保持的所述载体和被所述第二保持部保持的所述基板彼此分离。
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百度查询： 三菱综合材料技术株式会社 胜高股份有限公司 搬送装置、研磨装置及搬送方法
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