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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于衬底处理系统的射频匹配电路的电感带，所述的电感带包括第一端和第二端，其中该第一端和该第二端中的每一者包括：相应的连接器接线片，其被配置成连接至相应电容器的终端；电感线圈，其设置在该第一端和该第二端之间；以及中间部分，其设置在该电感线圈与该第一端和该第二端中的一者之间。该中间部分包含平面的连接板，该连接板被配置成将该电感带耦合至射频外壳的表面，该射频外壳容纳该射频匹配电路。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的射频匹配电路的电感带，所述电感带包括：第一端和第二端，其中所述第一端和所述第二端中的每一者包括相应的连接器接线片，其被配置成连接至相应电容器的终端；电感线圈，其被设置在所述第一端和所述第二端之间；以及中间部分，其被设置在i所述电感线圈与ii所述第一端和所述第二端中的一者之间，其中所述中间部分包含平面的连接板，所述连接板被配置成将所述电感带耦合至射频外壳的表面，所述射频外壳容纳所述射频匹配电路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于衬底处理系统的RF组件
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