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绝缘栅双极性晶体管及其制备方法、电子设备 

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申请/专利权人:格兰菲智能科技股份有限公司

摘要:本申请涉及一种绝缘栅双极性晶体管及其制备方法、电子设备,绝缘栅双极性晶体管包括:第一导电类型的衬底;多个栅极结构,间隔设置在第一导电类型的衬底内,栅极结构包括栅氧化层、第一半导体掺杂层和第二半导体掺杂层,第一半导体掺杂层设置在第二半导体掺杂层上,栅氧化层设置在第一半导体掺杂层的侧壁、第二半导体掺杂层的底部和侧壁,第一半导体掺杂层具有第一导电类型,第二半导体掺杂层具有第二导电类型,第一导电类型和第二导电类型相反。第二半导体掺杂层与第一半导体掺杂层结合形成反向PN结,在栅氧化层底部被击穿后,该PN结可以承受反向电压,避免第一半导体掺杂层与衬底短路,IGBT管失效的情况的发生,提高了IGBT管的耐压性。

主权项:1.一种绝缘栅双极性晶体管,其特征在于,包括:第一导电类型的衬底;多个栅极结构,间隔设置在所述第一导电类型的衬底内,所述栅极结构包括栅氧化层、第一半导体掺杂层和第二半导体掺杂层,所述第一半导体掺杂层设置在所述第二半导体掺杂层上,所述栅氧化层设置在所述第一半导体掺杂层的侧壁、所述第二半导体掺杂层的侧壁以及所述第二半导体掺杂层的底部,所述第一半导体掺杂层具有第一导电类型,所述第二半导体掺杂层具有第二导电类型,所述第一导电类型和所述第二导电类型相反。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 格兰菲智能科技股份有限公司 绝缘栅双极性晶体管及其制备方法、电子设备

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