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一种基于超薄有机薄膜晶体管的仿生突触及其制备方法 

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申请/专利权人:福建理工大学

摘要:本发明公开一种基于超薄有机薄膜晶体管的仿生突触及其制备方法,仿生突触晶体管采用底栅顶接触结构,器件从下往上依次是一定尺寸的带有一定厚度二氧化硅氧化层的硅片,金属氧化物浮栅层与隧穿层,有机半导体聚合物薄膜,以及通过热蒸发的方式制作的源漏电极。本发明制作的仿生突触晶体管,以原子层沉积法制备的金属氧化物浮栅层具有电荷捕获机制,氧化物隧穿层具有限制电荷迁移能力,在脉冲栅压控制下精准控制有源层3电导值,达到模拟生物神经突触的功能。本发明所述的仿生突触晶体管的制备的方式,其方法步骤简单,工序少,易操作,投入成本低,且适合大面积制备,对生物神经突触的功能模拟全面。

主权项:1.一种基于超薄有机薄膜晶体管的仿生突触,其特征在于:仿生突触的晶体管为底栅顶接触结构,从下往上依次为基底、浮栅层、隧穿层、有源层、源漏电极,所述基底包括基底硅片和绝缘层,所述基底硅片为生长有一层二氧化硅的硅片,硅片既为衬底又为栅极,所述绝缘层为二氧化硅层,所述有源层为有机半导体聚合物薄膜,所述源漏电极包括源极和漏极。

全文数据:

权利要求:

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