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申请/专利权人：重庆平伟实业股份有限公司;重庆大学
摘要：本申请提供一种氧化镓超结鳍型场效应晶体管，将第一P型氧化物和氧化镓漂移层引入到氧化镓超结鳍型场效应晶体管中形成超结结构，在超结区域的顶部和底部分别设置缓冲层，通过第一氧化镓缓冲层将P柱与衬底进行隔离，使得器件不会在超结区域底部提前击穿，在氧化镓漂移层顶部也设置有缓冲层，降低鳍型场效应晶体管在栅氧介质层上的电场强度，防止器件在此处提前击穿。本申请设置的双缓冲层结构降低超结区域与其他区域交界处的电场强度，使得超结漂移区内部的电场先达到临界击穿场强，有效地避免了器件的破坏性击穿，以使氧化镓超结鳍型场效应晶体管具有低导通电阻和高击穿电压的优势。
主权项：1.一种氧化镓超结鳍型场效应晶体管，其特征在于，包括：漏极金属层以及堆叠在所述漏极金属层上的氧化镓衬底层；所述氧化镓衬底层上设置有两个第一氧化镓缓冲层和氧化镓漂移层；两个所述第一氧化镓缓冲层上分别设置有第一P型氧化物层；所述氧化镓漂移层上设置有第二氧化镓缓冲层；所述第一P型氧化物层上设置有第二P型氧化物层；所述第二氧化镓缓冲层上设置有氧化镓鳍型沟道层和栅氧介质层；所述第二P型氧化物层上设置有栅氧介质层和源极金属层；所述栅氧介质层上设置有栅极金属层；所述栅氧介质层和所述栅极金属层上设置有二氧化硅钝化层；所述氧化镓鳍型沟道层上设置有氧化镓导电层；所述二氧化硅钝化层及所述氧化镓导电层上设置有所述源极金属层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆平伟实业股份有限公司 重庆大学 一种氧化镓超结鳍型场效应晶体管
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