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申请/专利权人：沈阳新松半导体设备有限公司
摘要：本发明涉及一种紧凑型机械手结构及控制方法，其中上手臂和下手臂均设于壳体上端，各个驱动轴均可升降地设于所述壳体中，所述上手臂后部设有第一上臂体，所述下手臂后部设有第一下臂体，并且所述第一上臂体后端和第一下臂体后端叠放固连，所述第一上臂体后端内部设有上手臂驱动带轮，所述第一下臂体后端内部设有下手臂驱动带轮，并且所述壳体内部的第一驱动轴上端与第一下臂体连接，第二驱动轴上端穿过第一驱动轴后与下手臂驱动带轮连接，第三驱动轴上端穿过第二驱动轴后与上手臂驱动带轮连接。本发明通过减少驱动机构数量以及将控制组件、风扇组件等装置统一集成于壳体内使整个机械手结构更加紧凑，能够满足半导体行业对于机械手的安装体积要求。
主权项：1.一种紧凑型机械手结构，其特征在于：包括壳体1、上手臂2、下手臂3和多个驱动轴，其中上手臂2和下手臂3均设于壳体1上端，各个驱动轴均可升降地设于所述壳体1中，所述上手臂2后部设有第一上臂体202，所述下手臂3后部设有第一下臂体302，并且所述第一上臂体202后端和第一下臂体302后端叠放固连，所述第一上臂体202后端内部设有上手臂驱动带轮201，所述第一下臂体302后端内部设有下手臂驱动带轮301，并且所述壳体1内部的第一驱动轴402上端与第一下臂体302连接，第二驱动轴502上端穿过第一驱动轴402后与下手臂驱动带轮301连接，第三驱动轴602上端穿过第二驱动轴502后与上手臂驱动带轮201连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳新松半导体设备有限公司 一种紧凑型机械手结构及控制方法
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