龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明提供一种步进式腔长可调光纤F‑P腔MEMS传感器及其封装方法，其中MEMS传感器包括桶型壳体、敏感芯片和光纤，敏感芯片设置在壳体底部，光纤轴向设置在壳体内与敏感芯片相对，壳体下端部设置有水平调节机构，水平调节机构延伸进壳体内用于调节敏感芯片位置，壳体上端部内周设置有调节筒，调节筒内周套设有夹持光纤的夹持组件，壳体上端部周向设置有垂直调节机构，垂直调节机构用于调节光纤轴向移动，垂直调节机构包括至少一对垂直调节组件，垂直调节组件分布设置在壳体上端部周向，垂直调节组件包括设置在壳体周向的齿轮和设置在调节筒外周的齿条，齿轮和齿条啮合。本发明通过垂直调节机构实现腔长调节，避免人工插入光纤与芯片距离误差的问题。
主权项：1.一种步进式腔长可调光纤F-P腔MEMS传感器，其特征在于：包括桶型的壳体、敏感芯片（3）和光纤（10），所述敏感芯片（3）设置在所述壳体的底部，所述光纤（10）轴向设置在所述壳体内与所述敏感芯片（3）上下相对，所述壳体的下端部设置有水平调节机构，所述水平调节机构延伸进所述壳体内的一端用于调节所述敏感芯片（3）在所述壳体底部的水平位置；所述壳体的上端部内周设置有调节筒（7），所述调节筒（7）的内周套设有用于夹持所述光纤（10）的夹持组件，所述壳体的上端部周向还设置有垂直调节机构，所述垂直调节机构用于调节所述调节筒（7）带动所述光纤（10）轴向移动，所述垂直调节机构包括至少一对垂直调节组件，所述垂直调节组件分布设置在所述壳体的上端部周向，所述垂直调节组件包括设置在所述壳体周向的齿轮（5）和设置在所述调节筒（7）外周的齿条（071），所述齿轮（5）和所述齿条（071）啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种步进式腔长可调光纤F-P腔MEMS传感器及其封装方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号