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申请/专利权人：昆山艾森世华光电材料有限公司
摘要：本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体公开了一种晶圆清洗设备用承托架，包括：侧板和连接板，侧板呈L状，连接板呈U状，侧板设有两块，两块侧板一端左右两侧的上下端均通过螺栓和连接板固定连接，通过将滑柱下压，齿板和齿条分离，即可推动滑柱在滑孔内移动，同时行走轮在行走板上滚动，对两个连接板之间的距离进行调节，通过将紧固螺母拧松即可让滑块一在条形孔一内上下移动，调节承接板的高度，可以对不同直径的晶圆进行固定，通过捏住转动块并进行转动，转动块驱动转动杆转动，转动杆转动时会同时驱动每组中的两个螺纹筒同步向内侧或者外侧移动，调节两个限位垫之间的距离，起到可以将不同厚度的晶圆固定住，操作简单，降低企业的生产成本。
主权项：1.一种晶圆清洗设备用承托架，包括：侧板（1）和连接板（2），侧板（1）呈L状，连接板（2）呈U状，侧板（1）设有两块，两块侧板（1）一端左右两侧的上下端均通过螺栓和连接板（2）固定连接，其特征在于：两块所述侧板（1）的另一端均开设有滑孔（9），每个滑孔（9）内均滑动连接有滑柱（12），滑柱（12）通过调节部件固定在滑孔（9）内，前后两个滑柱（12）的上端均固定安装有移动板（18），移动板（18）的上端转动连接有转动杆（21），转动杆（21）的外壁上螺纹连接有若干组螺纹筒（23），螺纹筒（23）的一端通过连接杆（27）安装有限位板（28）；每块侧板（1）的前后端方向上均开设有条形孔一（3），两个条形孔一（3）之间滑动连接有承接板（4），承接板（4）通过螺纹杆（7）个紧固螺母（8）固定在侧板（1）侧壁上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山艾森世华光电材料有限公司 一种晶圆清洗设备用承托架
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