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申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本公开涉及一种喷淋头、化学气相沉积设备及其工作方法，包括：壳体，壳体包括相对设置的第一端与第二端，壳体的第一端设有多个进气口，壳体的第二端设有出风面板；多个出气孔，位于出风面板的板面上，多个出气孔呈环装均匀排布，从出风面板的边缘至中心形成多个出风环，相邻的两个出风环用于输出不同种类的反应气体；多个气体存储区，位于壳体内多个出气孔与多个进气口之间，气体存储区包括多层，每层气体存储区用于存储一种气体，每个出风环的多个出气孔通过导气管连接至对应的气体存储区。至少能够避免化学气相沉积过程中反应副产物生成，避免传输至出气孔的气源被污染，同时也能够避免气源混合均匀性效果也不佳的问题。
主权项：1.一种喷淋头，其特征在于，所述喷淋头包括：壳体，所述壳体包括相对设置的第一端与第二端，所述壳体的第一端设有多个进气口，所述壳体的第二端设有出风面板；多个出气孔，位于出风面板的板面上，多个出气孔呈环装均匀排布，从所述出风面板的边缘至中心形成多个出风环，相邻的两个出风环用于输出不同种类的反应气体；多个气体存储区，位于壳体内多个出气孔与多个进气口之间，所述气体存储区包括多层，每层气体存储区用于存储一种气体，每个出风环的多个出气孔通过导气管连接至对应的气体存储区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 喷淋头、化学气相沉积设备及其工作方法
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