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申请/专利权人：湖南顶立科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法，包括主进气调压管路、负载进气调压管路、主路阀门、旁路调节阀和真空计，沉积炉的进气口连接主进气调压管路，沉积炉的出气口通过主路阀门连接真空泵组，旁路调节阀连接所述主路阀门的两侧，负载进气调压管路连接所述主路阀门的进气口，所述主进气调压管路和负载进气调压管路均连接工艺进气端，沉积炉设有测量沉积炉内气压的真空计。本发明解决了沉积炉内工艺压力的长期稳定和精确可控的问题。

主权项：1.一种应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，包括主进气调压管路、负载进气调压管路、主路阀门、旁路调节阀和真空计，沉积炉的进气口连接主进气调压管路，沉积炉的出气口通过主路阀门连接真空泵组，旁路调节阀连接所述主路阀门的两侧，负载进气调压管路连接所述主路阀门的进气口，所述主进气调压管路和负载进气调压管路均连接工艺进气端，沉积炉设有测量沉积炉内气压的真空计；所述主进气调压管路包括质量流量计一、体积流量计一和阀门一，所述主进气调压管路的进气端通过阀门三连接工艺进气端；所述负载进气调压管路包括质量流量计二、体积流量计二和阀门二，所述负载进气调压管路的进气端通过阀门三连接工艺进气端；初始抽真空阶段，关闭阀门三、阀门一和阀门二，关闭主路阀门，打开旁路调节阀，根据炉压变化逐步调整所述旁路调节阀的开度；当炉压达到允许开主路阀门时，打开主路阀门，将所述旁路调节阀调节到一个开度不变；调整到设定目标压力阶段，监测真空计得到的沉积炉内气压，△P＝炉内压力-目标压力，P1P2P30Pa，根据气压差△P进行如下调节：当△P≥P1时，打开主路阀门，旁路调节阀则保持一个恒定的开度；当P3＜△P＜P2时，关闭主路阀门，通过旁路调节阀自动调节；当0Pa≤△P≤P3时，关闭主路阀门，对旁路调节阀限定一个调节范围OPL，OPH，使其在此范围内调节；当△P＜0Pa时，自动设定旁路调节阀开度到OPL位置，打开阀门一，通过主进气调压管路往炉内通气，使△P＝0时关闭进气调压管路；关闭进气调压管路后，若△P仍有变负趋势，则打开阀门二，开启负载进气调压管路，降低真空泵组的抽气能力，使△P＝0。

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