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申请/专利权人:武汉理工大学
摘要:本发明涉及难熔金属高熵合金涂层技术领域,尤其涉及一种具有结晶‑非晶异质结构的难熔金属高熵合金涂层及其制备方法。包括以下步骤:S1、将多种难熔金属粉体混合得到混合粉体,然后对混合粉体进行致密化处理,得到难熔金属多元合金靶材;S2、对所述靶材使用直流磁控溅射镀膜机镀膜,得到具有结晶‑非晶异质结构的难熔金属高熵合金涂层,所述难熔金属高熵合金涂层的上层为结晶结构,下层为非晶结构。本发明能获得的难熔金属高熵合金涂层具有结晶‑非晶异质结构,上层为结晶,下层为非晶,能兼具结晶态与非晶态的共同优点;本发明制备得到的高熵合金涂层,具有单一物相,并非纯金属或二元三元合金涂层的混合物,且元素分布均匀。
主权项:1.一种具有结晶-非晶异质结构的难熔金属高熵合金涂层的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S1、将多种难熔金属粉体混合得到混合粉体,然后对混合粉体进行致密化处理,得到难熔金属多元合金靶材;S2、对所述靶材使用直流磁控溅射镀膜机镀膜,得到具有结晶-非晶异质结构的难熔金属高熵合金涂层,所述难熔金属高熵合金涂层的上层为结晶结构,下层为非晶结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 武汉理工大学 一种具有结晶-非晶异质结构的难熔金属高熵合金涂层及其制备方法
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