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申请/专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要：本公开的实施例提供了一种传感器、电子设备，涉及微机电机械系统领域，用于提升传感器的检测准确性。该传感器包括第一衬底、设置于第一衬底的一侧的第二衬底和设置于第一衬底和第二衬底之间的感测电路。第一衬底包括相对设置的第一表面和第二表面，第一衬底的第一表面包括凹槽。第二衬底包括相对设置的第三表面和第四表面，第四表面与第一表面连接；第二衬底包括敏感部，敏感部在第一衬底上的正投影和凹槽在第一衬底上的正投影至少部分交叠。感测电路位于第四表面和第一表面之间，感测电路包括敏感电阻，敏感电阻位于敏感部靠近凹槽的表面上。上述传感器用于检测压力。
主权项：1.一种传感器，其特征在于，包括：第一衬底，包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一衬底的第一表面包括凹槽；第二衬底，设置于所述第一衬底的第一表面一侧，包括相对设置的第三表面和第四表面，所述第四表面与所述第一表面连接；所述第二衬底包括敏感部，所述敏感部在所述第一衬底上的正投影和所述凹槽在所述第一衬底上的正投影至少部分交叠；感测电路，位于所述第四表面和所述第一表面之间，所述感测电路包括敏感电阻，所述敏感电阻位于所述敏感部靠近所述凹槽的表面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京京东方传感技术有限公司 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 传感器、电子设备
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