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申请/专利权人：索泰克公司
摘要：本发明涉及将块从供体衬底转移到受体衬底的方法，该方法包括以下步骤：‑布置面向供体衬底的自由表面的掩模，掩模具有使供体衬底的自由表面暴露的一个或更多个开口，这些开口根据确定的图案分布，以便形成供体衬底的自由表面的至少一个暴露区域以及由掩模覆盖的至少一个区域，‑通过穿过掩模的离子植入形成弱化面，该弱化面在供体衬底中与至少一个暴露区域竖向对齐地定位，该弱化面在供体衬底的厚度中界定相应表面区域，‑形成块，块相对于供体衬底的与各个相应弱化面竖向对齐地定位的自由表面凸起，块包括相应表面区域，‑在已去除掩模后，借助位于结合界面处的各个块将供体衬底结合到受体衬底。
主权项：1.一种将块（9）从供体衬底（1）转移到受体衬底（20）的方法，所述方法包括以下步骤：-布置面向所述供体衬底的自由表面（3）的掩模（2），所述掩模（2）具有使所述供体衬底的所述自由表面（3）暴露的一个或更多个开口（4），这些开口根据给定图案（10）分布，以便形成所述供体衬底的所述自由表面的至少一个暴露区域以及由所述掩模覆盖的至少一个区域（5），-通过穿过所述掩模（2）的离子植入形成脆化面（7），所述脆化面（7）在所述供体衬底（1）中与所述至少一个暴露区域竖向对齐地定位，所述脆化面（7）在所述供体衬底的厚度中界定相应的表面区域（8），-形成块（9），所述块（9）相对于所述供体衬底的与各个相应的脆化面（7）竖向对齐地定位的自由表面（3）凸起，所述块包括所述相应的表面区域（8），-在已经去除所述掩模（2）之后，经由位于结合界面处的各个块（9）将所述供体衬底（1）结合到所述受体衬底（20），-沿着定位的各个局部脆化面（7）分离所述供体衬底（1），以便将各个相应块（9）转移到所述受体衬底（20）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索泰克公司 用于将块从供体衬底转移到受体衬底的方法
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