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申请/专利权人：曾泽斌
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅衬底的感应式加热外延炉。外延炉从左到右依次为装片腔、传输腔、圆柱形石英腔；装片腔内设有片座一，传输腔内设有机械手；圆柱形石英腔的右端设有氢气与外延生长气进气口和进气端密封板，圆柱形石英腔的左端设有法兰和装片通道；圆柱形石英腔外设有感应线圈；圆柱形石英腔的中部上方设有转轴旋转升降装置、转轴，转轴的下端设有装片笼，其中的装载盘上开有承载环安装孔，用于放置承载环，装片笼的悬挂轴穿过上部感应加热环；装片笼的下方依次设有下部感应加热环；装片笼、上部感应加热环、下部感应加热环围成了外延生长区。本实用新型有效解决了碳化硅外延片制作过程中容易产生包裹物缺陷的难题。
主权项：1.一种用于碳化硅衬底的感应式加热外延炉，其特征是，从左到右依次为装片腔（3）、传输腔（5）、圆柱形石英腔（13）；装片腔（3）内设有片座一（4），传输腔（5）内设有机械手（6）；圆柱形石英腔（13）的右端设有氢气与外延生长气进气口（10）和进气端密封板（23），圆柱形石英腔（13）的左端设有法兰（8）和装片通道（9），装片通道（9）的下部设有排气口（34）；圆柱形石英腔（13）外设有感应线圈（12）；圆柱形石英腔（13）的中部上方设有转轴旋转升降装置（15）、转轴（17），转轴旋转升降装置（15）安装在支架（16）上，转轴（17）依次穿过支架（16）、感应线圈（12）和圆柱形石英腔（13），转轴（17）的下端设有装片笼，装片笼包括悬挂轴（31）、上挂盘（18）、挂爪（30）、装载盘（20），悬挂轴（31）与转轴（17）连接，上挂盘（18）、挂爪（30）、装载盘（20）围成装载腔（35），装载盘（20）上开有承载环安装孔（37），用于放置承载环（32），承载环（32）用于放置抛光正面（38）朝下的衬底片（28），装片笼的悬挂轴（31）穿过上部感应加热环（19）；装片笼的下方依次设有下部感应加热环（27）；装片笼、上部感应加热环（19）、下部感应加热环（27）围成了外延生长区（29）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 曾泽斌 用于碳化硅衬底的感应式加热外延炉
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