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申请/专利权人:苏州六九新材料科技有限公司
摘要:本申请涉及粉末冶金材料的技术领域,具体公开了一种氧化铝靶材及其制备方法和应用。本申请公开的氧化铝靶材的制备方法,具体包括依次进行以下步骤:氧化铝原料粉末球磨预处理、冷等静压、热压、机加工、清洗后得到所述氧化铝靶材;所述冷等静压的参数条件为:压力为150‑250MPa,时间为5‑10min,得到氧化铝坯料;所述热压的参数条件为:温度1000‑1200℃,压力30‑40MPa,保温保压时间1‑2h。利用本申请提供的上述氧化铝靶材的制备方法,可以获得微观组织优异、致密度高和纯度高的氧化铝靶材。
主权项:1.一种氧化铝靶材的制备方法,其特征在于,具体包括依次进行以下步骤:氧化铝原料粉末球磨预处理、冷等静压、热压、机加工、清洗后得到所述氧化铝靶材;所述冷等静压的参数条件为:压力为150-250MPa,时间为5-10min,得到氧化铝坯料;所述热压的参数条件为:温度1000-1200℃,压力30-40MPa,保温保压时间1-2h。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州六九新材料科技有限公司 一种氧化铝靶材及其制备方法和应用
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