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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司

摘要：本发明属于粉末冶金材料及其制造技术领域，具体涉及一种CrAlFe基合金靶材及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S1、将Al粉和Fe粉进行高能球磨处理，得到预合金化AlFe合金粉末；S2、将AlFe合金粉末和所述CrAlFe基合金靶材的剩余原料粉混合均匀，得到CrAlFe基合金粉末；S3、在真空条件下，对CrAlFe基合金粉末进行热压烧结，热压烧结结束后，卸压，然后冷却、脱模，得到CrAlFe基合金烧结坯料；S4、对CrAlFe基合金烧结坯料进行机加工，得到CrAlFe基合金靶材。本发明通过在冷却之前卸除压力，可以改善CrAlFe基合金靶材的开裂现象。

主权项：1.一种CrAlFe基合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将Al粉和Fe粉进行高能球磨处理，得到预合金化AlFe合金粉末；在步骤S1中，先预抽真空至真空度≤0.1Pa，再充入0.5-2Pa的Ar气，在Ar气保护下进行高能球磨处理，球磨转速为100-150rmin，球磨时间为20-40h；S2、将所述AlFe合金粉末和所述CrAlFe基合金靶材的剩余原料粉混合均匀，得到CrAlFe基合金粉末，其中，所述CrAlFe基合金靶材的剩余原料粉为Cr粉或由Cr粉和X粉组成，所述X粉包括W粉、Mo粉、Ta粉、Nb粉、V粉中的至少一种；所述CrAlFe基合金靶材的化学成分按原子百分比计，包括：Cr10-70at％，Al20-85at％，Fe0-20at％且不为0at％，X0-20at％，其中，X代表W、Mo、Ta、Nb、V中的至少一种；S3、在真空条件下，对所述CrAlFe基合金粉末进行热压烧结，所述热压烧结结束后，卸压，然后冷却、脱模，得到CrAlFe基合金烧结坯料；其中，所述卸压包括保压并降温至400-460℃，之后线性卸压至压力为0MPa；所述热压烧结的最高烧结温度为500-600℃；所述热压烧结包括：首先在室温状态下，对所述CrAlFe基合金粉末施加初始压力5-12Mpa，同时抽真空至0.1-0.5Pa，再进行真空热压烧结，由室温升至120-180℃，升温速率为1-5℃min，当真空度达到0.01Pa-0.05Pa后开始计时保温保压，在120-180℃且5-12Mpa下的保温保压时间为1-5h，再继续以升温速率2-10℃min升温至烧结温度500-600℃，同时线性升压至烧结压力20-50MPa，在500-600℃且20-50MPa下保温保压1-6h；S4、对所述CrAlFe基合金烧结坯料进行机加工，得到所述CrAlFe基合金靶材；所述Fe粉的纯度≥99.5wt％，费氏粒度F.S.S.S为5～8μm；所述Al粉为空气雾化铝粉，纯度≥99.7wt％，粒度为-200目；所述Cr粉末的纯度≥99.8wt％，粒度为-200目；所述W粉的纯度≥99.9wt％，费氏粒度F.S.S.S为5～8μm；所述Mo粉的纯度≥99.9wt％，费氏粒度F.S.S.S为5～8μm；所述Ta粉的纯度≥99.8wt％，D50＝15～20μm；所述Nb粉的纯度≥99.5wt％，粒度为-300目；所述V粉的纯度≥99.8wt％，粒度为-325目。

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