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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及物理气相沉积的技术领域，具体公开了一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法。本申请公开的镶嵌复合靶材的制备方法为：基体材料形状为圆柱形，将上下端面找平，在中心处开圆形通孔，通孔上端面设有倒角，通孔内壁与上下端面垂直；基体通孔内壁加工出螺纹，螺纹高度0.1~0.3mm，螺距0.2~0.5mm；镶嵌材料为圆柱形，圆柱外径比基体材料的圆形通孔内径大0.12~0.19%，圆柱高度与基体材料厚度相同；将镶嵌材料放入液氮中冷冻20~30min，取出后嵌入基体材料圆孔，放置5~10min，得到镶嵌复合靶材毛坯；后处理即得。本申请的制备方法简单，镶嵌复合靶材镶嵌材料和基体材料之间结合紧密，结合强度高。
主权项：1.一种新型镶嵌复合靶材的制备方法，其特征在于，由基体材料和镶嵌材料组成，具体包括依次进行以下步骤：所述基体材料形状为圆柱形，将上下端面找平，在中心处开圆形通孔，通孔上端面设有倒角，倒角尺寸为0.5mm×45°~1.0mm×45°，通孔内壁与上下端面垂直；所述基体材料通孔内壁加工出螺纹，螺纹高度0.1~0.3mm，螺距0.2~0.5mm；所述镶嵌材料为圆柱形，所述镶嵌材料的圆柱外径比所述基体材料的圆形通孔内径大0.12~0.19%，所述镶嵌材料的圆柱高度与所述基体材料的厚度相同；将所述镶嵌材料放入液氮中冷冻，取出后嵌入基体材料圆孔，放置5~10min，得到镶嵌复合靶材毛坯；经过后处理得到所述新型镶嵌复合靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法
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