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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种模拟机械手臂运动的方法、装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。方法应用于前端设备，前端设备的显示界面中包括虚拟机械手臂，方法包括：获取机械手臂控制指令；其中，机械手臂控制指令包括真实机械手臂拾取晶圆或放置晶圆时所要运动到的目标位置；在前端设备的显示界面中，确定与目标位置对应的虚拟目标位置；确定虚拟机械手臂从当前位置运动到虚拟目标位置时的整体运动参数以及组成虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数；根据整体运动参数和各虚拟组件的运动参数，控制虚拟机械手臂运动到虚拟目标位置。通过本方案可以使虚拟机械手臂与真实机械手臂的运动过程保持一致，以此实现对真实机械手臂运动过程的监控。

主权项：1.一种模拟机械手臂运动的方法，其特征在于，应用于前端设备，所述前端设备的显示界面中包括至少一个虚拟机械手臂，每个虚拟机械手臂各自对应晶圆传输平台上的一个真实机械手臂，所述方法包括：响应于半导体设备的控制器向晶圆传输平台上的真实机械手臂发送机械手臂控制指令，获取所述机械手臂控制指令；其中，所述机械手臂控制指令包括所述真实机械手臂拾取晶圆或放置晶圆时所要运动到的目标位置；在所述前端设备的显示界面中，确定与所述目标位置对应的虚拟目标位置；获取所述虚拟目标位置关联的位置属性，以及所述虚拟机械手臂在所述显示界面中的当前位置关联的位置属性；其中，所述位置属性包括所述虚拟机械手臂在所述显示界面中的整体位置参数，所述虚拟机械手臂处于默认状态时各虚拟组件的方向角参数、所述虚拟机械手臂的末端触达所述虚拟目标位置或当前位置时各虚拟组件的方向角参数；所述整体位置参数为虚拟机械手臂相对参考方向的整体方向角或虚拟机械手臂相对预设参考点的水平距离；根据所述当前位置关联的位置属性中的整体位置参数和所述虚拟目标位置关联的位置属性中的整体位置参数，确定所述虚拟机械手臂从所述当前位置运动到所述虚拟目标位置时的整体运动参数；根据所述虚拟目标位置关联的位置属性所包括的虚拟机械手臂处于默认状态时各虚拟组件的方向角参数和虚拟机械手臂的末端触达所述虚拟目标位置时各虚拟组件的方向角参数，确定组成所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数；根据所述整体运动参数和组成所述虚拟机械手臂的各虚拟组件的运动参数，控制所述虚拟机械手臂运动到所述虚拟目标位置。

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