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申请/专利权人：美新半导体(天津)有限公司
摘要：本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：质量块；与所述质量块形成正交补偿电容的正交补偿电极；与所述质量块形成驱动电容的驱动电极，其接收驱动信号，其中所述质量块在所述驱动信号的驱动下进行简谐振动；与所述质量块形成驱动检测电容的驱动检测电极；驱动电荷放大器，其输入端耦接至所述驱动检测电极，其输出端输出驱动检测信号；正交补偿单元，其根据所述驱动电荷放大器输出的驱动检测信号得到与所述驱动检测信号同相的正交补偿信号，所述正交补偿信号被连接至所述正交补偿电极。这样，可以减小残余正交误差，进而降低零偏。
主权项：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，其包括：质量块；与所述质量块形成正交补偿电容的正交补偿电极；与所述质量块形成驱动电容的驱动电极，其接收驱动信号，其中所述质量块在所述驱动信号的驱动下进行简谐振动；与所述质量块形成驱动检测电容的驱动检测电极；驱动电荷放大器，其输入端耦接至所述驱动检测电极，其输出端输出驱动检测信号；正交补偿单元，其根据所述驱动电荷放大器输出的驱动检测信号得到与所述驱动检测信号同相的正交补偿信号，所述正交补偿信号被连接至所述正交补偿电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美新半导体(天津)有限公司 具有正交补偿功能的MEMS陀螺仪
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