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申请/专利权人:宁波大学
摘要:提供一种水质检测微纳传感器,尤其是一种余氯检测微纳传感器及其制作与检测方法,硅基片为SOI基片1,上硅层2与底硅层3之间通过埋氧层4隔离;在上硅层2上面依次经过化学气相沉积工艺、金属溅射工艺、光刻图形化工艺、金属腐蚀工艺、等离子体刻蚀工艺制备形成BBD电极5;将图案化以外的顶硅进行刻蚀;在光刻时采用喷胶工艺,在制备金属层时采用刻蚀腐蚀工艺;所述BBD电极5包括2个起始端6,所述2个起始端6上面分别设置作为电引出端的Au金属焊点7。
主权项:1.一种水质检测微纳传感器,包括硅基片,其特征在于,所述硅基片为SOI基片1,所述SOI基片1结构中,包括位于上面的上硅层2与位于底面的底硅层3,上硅层2与底硅层3之间通过埋氧层4隔离;在所述SOI基片1的上硅层2上面依次经过化学气相沉积工艺、金属溅射工艺、光刻图形化工艺、金属腐蚀工艺、等离子体刻蚀工艺制备形成BBD电极5;在SOI的顶硅表面沉积BDD并图案化后,将图案化以外的顶硅进行刻蚀;在光刻时采用喷胶工艺,在制备金属层时采用刻蚀腐蚀工艺;所述BBD电极5包括2个起始端6,所述2个起始端6上面分别设置作为电引出端的Au金属焊点7。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 宁波大学 一种水质检测微纳传感器及其制作与检测方法
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