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申请/专利权人：电子科技大学

摘要：本发明公开了一种激光微纳钻孔深度实时检测方法，先对加工样品进行A扫，然后通过光谱仪捕获样品反射至测量臂的光束与参考臂中的光束发生干涉后的干涉信号，将该干涉信号重采样进行波长域到波束域的变换，通过已知的当前深度向上和向下若干个像素构建一个检测序列，根据序列中的每一个像素的位置对应的频率生成若干组零差波形，并用变换后的波束域信号与零差波形相乘，并把结果中的各项相加作低通滤波得到信号的同相分量和正交分量，求同相分量和正交分量的平方和开根得到信号的幅值，将这若干组的信号比较，最大值对应像素的位置即为当前的加工深度，通过对当前深度决策调整激光实现实时控制激光加工的深度。

主权项：1.一种激光微纳钻孔深度实时检测方法，其特征在于：包括以下步骤：1、设加工样品上当前已知钻孔深度为z0，对应的零差波形频率为f；2、开启激光微纳钻孔装置的激光加工头，并对加工样品进行A扫，然后通过光谱仪捕获样品反射至测量臂的光束与参考臂中的光束发生干涉后的干涉信号，记为波长域信号；3、将波长域信号先通过K线性化转换到波束域：使用最邻近插值生成K线性化需要的地址序列，然后根据地址序列对采集到的波长域信号进行重采样，得到波束域信号St；4、以当前深度z0为中心，构建一个上方m个像素、下方n个像素的检测序列；5、设每个像素对应的深度值为a，以当前深度z0为基准分别计算检测序列中各像素的深度；上方m个像素对应的深度分别为：{z0-a,z0-2a,…,z0-ma}下方n个像素对应的深度分别为：{z0+a,z0+2a,…,z0+na}；6、根据如下深度和频率之间的关系式，计算检测序列中各像素的深度对应的频率；z＝af+b其中，b为常数；7、分别生成检测序列中各像素的零差波形；LOIt＝cos2πfjtLOQt＝sin2πfjt其中，fj表示检测序列中第j个像素的频率，j＝1,2,…,m+n+1；t表示时间变量，LOIt、LOQt分别表示零差波形的I、Q分量；8、将波束域信号St分别和各个像素的零差波形对应相乘，相乘后的信号为：I分量:MIt＝St·cos2πfjtQ分量:MQt＝St·sin2πfjt9、各个像素的零差波形经过步骤8处理后，再进行低通滤波处理，得到I、Q分量It和Qt：It＝LPFMItQt＝LPFMQt10、各个像素经过步骤9处理后，通过以下方式计算幅值As： 11、将对所有幅值As作比较，选出最大的幅值对应的像素，该像素对应的深度为钻孔当前深度；12、判断钻孔当前深度是否达到预定深度，如果达到，则关闭激光微纳钻孔装置的激光加工头，并结束；否则，返回步骤4。

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百度查询： 电子科技大学 一种激光微纳钻孔深度实时检测方法