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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗设备及晶圆清洗方法，包括箱体、送液管路、承接杯及负压风管，送液管路贯穿箱体的侧壁延伸至箱体内、用于分时段向箱体内供送化学液和热水，承接杯设置于箱体内，承接杯的底部连接有排液管，负压风管连接于承接杯的一侧、用于向箱体外部引流化学气体。本发明提供的晶圆清洗设备，利用送液管路向箱体内分时段送入热水和化学液，实现对送液管路的清洗，节省了化学液的消耗，保证后续用于清洗晶圆的化学液的洁净度，连接于承接杯上的负压风管延伸至箱体外部，便于将承接杯内的化学气引出箱体，避免对化学气反灌导致在晶圆表面产生团聚图案的问题，满足了晶圆清洗的环境要求，保证了晶圆的清洗质量。
主权项：1.晶圆清洗设备，其特征在于，包括箱体1、送液管路2、承接杯3以及负压风管4，所述送液管路2贯穿所述箱体1的侧壁延伸至所述箱体1内、用于分时段向所述箱体1内供送化学液和热水，所述承接杯3设置于所述箱体1内，所述承接杯3的底部连接有向下贯穿所述箱体1的底壁设置的排液管5，所述承接杯3用于承接所述送液管路2使用过的化学液以使化学液经所述排液管5排出，所述负压风管4连接于所述承接杯3的一侧、用于向所述箱体1外部引流化学气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 晶圆清洗设备及晶圆清洗方法
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