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申请/专利权人：江苏微邦电子有限公司
摘要：本发明公开了一种具有防碎屑飞溅功能的晶圆定位装置，涉及晶圆定位装置技术领域，包括回收箱，所述回收箱的内部固定安装有回收过滤机构，所述回收过滤机构的表面固定安装有升降机构。本发明通过设置升降机构，能够通过伺服电机驱动螺纹杆进行防护加工机构以及定位组件的上下移动，同时滑杆能够辅助进行限制，通过电机驱动进行调节相比人工效率高，且能够提高防护板和回收箱箱体的密封性，防止存在缝隙导致部分碎屑飘出，通过设置防飘散组件，能够在下降加工时导向碎屑进入到回收箱箱体的底部进行存储，防止在上升时可通过封板配合导料斜板实现箱体底部的封闭，防止碎屑受风动影响从顶部槽口出飘散出来，从而影响到加工的环境。
主权项：1.一种具有防碎屑飞溅功能的晶圆定位装置，包括回收箱1，其特征在于：所述回收箱1的内部固定安装有回收过滤机构2，所述回收过滤机构2的表面固定安装有升降机构3，所述升降机构3的表面活动安装有防护加工机构4，所述防护加工机构4的表面固定安装有定位组件5，所述回收箱1的内表面固定安装有防飘散组件6；所述回收过滤机构2包括有回收过滤单元和防堵塞单元，所述防堵塞单元固定安装在回收过滤单元的表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微邦电子有限公司 一种具有防碎屑飞溅功能的晶圆定位装置
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