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申请/专利权人：启元实验室
摘要：本发明涉及超表面技术领域，具体涉及一种适用于衍射超表面的仿真分析方法及装置。本发明实施例提供的适用于衍射超表面的仿真分析方法，基于对超表面单元结构模型进行参数扫描得到的半径‑相位对应分布点进行超表面模型的构建，同时在建模时加入加工误差，通过对加入加工误差之后和之前的模型分别进行仿真计算，并将得到的对应的衍射图像进行对比，从而确定加工误差的影响，为超表面的加工提供了指导。
主权项：1.一种适用于衍射超表面的仿真分析方法，其特征在于，所述方法包括：基于预设超表面材料和类型构建超表面单元结构模型；基于所述超表面单元结构模型进行参数扫描，确定超表面半径-相位对应分布点；基于所述半径-相位对应分布点进行超表面建模，对构建的第一超表面模型进行仿真计算，得到第一衍射图像；基于所述半径-相位对应分布点以及加工误差进行超表面建模，对构建的第二超表面模型进行仿真计算，得到第二衍射图像；基于所述第一衍射图像和所述第二衍射图像的对比确定加工误差的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 启元实验室 一种适用于衍射超表面的仿真分析方法及装置
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