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申请/专利权人：福建省佑达环保材料有限公司
摘要：本发明公开了一种低残留的CF显影液及其制备方法，是一种用于新型显示制造领域的高世代线CF制程用显影液，属于湿电子化学品领域，主要应用于8.5代线及以上大尺寸的TFT面板制造中。该显影液通过特定阴离子表面活性剂与有机溶剂和螯合剂协同作用，能有效提高显影精度，降低光刻胶膜渣的堵塞，易清洗不残留，特别适合水洗段设计较短的高世代线。
主权项：1.一种低残留的CF显影液，其特征在于，以质量百分含量计，其组成如下：无机碱4.5%-10%；表面活性剂5%-10%有机溶剂10%-20%；螯合剂1%-5%；去离子水余量；总质量分数之和为100%；所述表面活性剂为阴离子表面活性剂，结构如下： ；所述有机溶剂为丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、乙二醇己醚、二乙二醇丁醚、二乙二醇己醚、三乙二醇单丁醚中的一种或多种；所述螯合剂为乙二胺二邻苯基乙酸钠。
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