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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本实用新型属于碳化硅制备技术领域，具体的说是一种水平碳化硅外延设备的热场部件，包括：I型上半月发热件，由弧形板、平板组成；所述弧形板与平板卡接配合；所述弧形板两内侧均固接有凸台，且平板上相邻于凸台固接有卡钩；所述卡钩与凸台卡接配合；Ⅱ型上半月发热件，由半月件、U型卡扣及碳化硅颗粒沉积防护层组成；通过将现有的上半月发热件拆解为I型上半月发热件、II型上半月发热件，在化学气相沉积反应发生时在平板上碳化砖颗粒沉积厚度逐渐增厚而需要更换时，可仅更换平板件或防护层而无需发热件整体更换，由于分体件较整体发热件加工难度更低、而防护层价格较低，从而起到降低成本作用。
主权项：1.一种水平碳化硅外延设备的热场部件，其特征在于：包括：I型上半月发热件，由弧形板（1）、平板（2）组成；其特征在于：所述弧形板（1）与平板（2）卡接配合；所述弧形板（1）两内侧均固接有凸台（11），且平板（2）上相邻于凸台（11）固接有卡钩（21）；所述卡钩（21）与凸台（11）卡接配合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连科半导体有限公司 一种水平碳化硅外延设备的热场部件
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