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申请/专利权人：埃频(上海)仪器科技有限公司
摘要：本实用新型涉及分子束外延技术领域，提出一种热裂解蒸发源及分子束外延设备。所述热裂解蒸发源包括：第一加热部，其被配置为加热固体材料以生成分子束流；第二加热部，其与所述第一加热部连接，其中分子束流从第一加热部进入第二加热部，所述第二加热部被配置为加热分子束流以使分子束流热裂解；以及阀门，其布置在所述第一加热部与所述第二加热部之间，所述阀门被配置为调节其开口大小以调节分子束流的流量。本实用新型能够通过调节阀门的开口大小能够方便快捷地调节分子束流的流量，具有响应迅速、操作方便的优点。
主权项：1.一种热裂解蒸发源，其特征在于，包括：第一加热部，其被配置为加热固体材料以生成分子束流；第二加热部，其与所述第一加热部连接，其中分子束流从第一加热部进入第二加热部，所述第二加热部被配置为加热分子束流以使分子束流热裂解；以及阀门，其布置在所述第一加热部与所述第二加热部之间，所述阀门被配置为调节其开口大小以调节分子束流的流量。
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