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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶体生长炉温场调节装置，本发明涉及碳化硅晶体生长技术领域，包括炉体，炉体内侧中部安装有坩埚，坩埚底部安装有支撑座，支撑座底部安装有转动电机，且转动电机安装在炉体底部中间，坩埚通过支撑座和转动电机配合与炉体转动安装，炉体顶部中间安装有拉动气缸，炉体四周环绕安装有加热组件。该碳化硅晶体生长炉温场调节装置，综合减少炉体的热量损失，提升炉体的整体保温效果，提高炉体与外界气温的隔绝性能，进一步提升了炉体和坩埚内温度均匀性，确保了坩埚内温场的均衡调节与把控，能够动态调节加热组件的功率输出，保证温场的稳定性和均匀性。
主权项：1.一种碳化硅晶体生长炉温场调节装置，包括炉体1，所述炉体1内侧中部安装有坩埚2，所述坩埚2底部安装有支撑座8，所述支撑座8底部安装有转动电机4，且转动电机4安装在炉体1底部中间，所述坩埚2通过支撑座8和转动电机4配合与炉体1转动安装，所述炉体1顶部中间安装有拉动气缸6，其特征在于：所述炉体1四周环绕安装有加热组件3，所述炉体1表面固定安装有控制器5，且控制器5安装在加热组件3上方，所述炉体1内侧中部安装有监测组件7，且监测组件7通过炉体1安装在坩埚2上方；所述加热组件3包括环绕安装在炉体1四周的第一加热环31，所述炉体1内侧底部安装有内置环架33，所述内置环架33顶部呈圆形阵列状插装有倒U形加热杆34，所述内置环架33顶部呈圆形阵列状插装有内置组件36，所述内置组件36内侧安装有加热件37，所述内置环架33内侧安装有导热环38，所述第一加热环31顶部等间距固定安装有三环加热总成32，三环加热总成32由三个独立的加热环件组成，且三环加热总成32在炉体1四周呈上、中、下三等分安装，内置组件36内侧的加热件37数量为三个，采用上、中、下三等分布，且导热环38的数量为三个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种碳化硅晶体生长炉温场调节装置
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