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用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统 

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申请/专利权人:技感半导体设备(南通)有限公司

摘要:本发明提供了一种用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统,包括:上料机,配置有依次布置的层叠分料机构、层叠加盖机构,所述层叠分料机构能够将成摞托盘一一输送给层叠加盖机构并通过层叠加盖机构将所述托盘加盖后输出后进行清洗;下料机,配置有依次布置的层叠拆盖机构、层叠堆料机构,清洗完毕的所述托盘被输送至层叠拆盖机构中拆盖后运送至所述层叠堆料机构使得多个拆盖后的所述托盘成摞布置。本发明通过设置层叠分料机构、层叠加盖机构、层叠堆料机构、层叠拆盖机构等设备实现托盘的自动装盖、拆盖,能够进行连续的流水线式清洗作业,操作简单,出错率低,大大提升了工作效率。

主权项:1.一种用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统,其特征在于,包括:上料机(100),配置有依次布置的层叠分料机构(105)、层叠加盖机构(106),所述层叠分料机构(105)能够将成摞的托盘(12)一一输送给层叠加盖机构(106)并通过层叠加盖机构(106)将所述托盘(12)加盖后输出后进行清洗;下料机(200),配置有依次布置的层叠拆盖机构(206)、层叠堆料机构(205),清洗完毕的所述托盘(12)被输送至层叠拆盖机构(206)中拆盖后运送至所述层叠堆料机构(205)使得多个拆盖后的所述托盘(12)成摞布置;所述层叠分料机构(105)和层叠堆料机构(205)具有相同的结构;所述层叠加盖机构(106)和层叠拆盖机构(206)具有相同的结构;所述层叠分料机构(105)包括第一传输轨道(1053)、布置在所述第一传输轨道(1053)下方的第一顶升组件(1052)以及布置在所述第一传输轨道(1053)上方周侧的多个第一分离气缸(1051);运送来的成摞的托盘(12)被多个第一分离气缸(1051)支撑,所述第一顶升组件(1052)向上运动并运动到第一传输轨道(1053)的上方接触到最下端的一个托盘(12)后,多个第一分离气缸(1051)分离进而解除对成摞的托盘(12)的支撑状态,此时,所述第一顶升组件(1052)向下运动第一高度后停止,多个第一分离气缸(1051)靠拢进而支撑除最下端一个托盘(12)外的剩余托盘(12),此时,所述第一顶升组件(1052)继续向下运动将最下端的一个托盘(12)放置到所述第一传输轨道(1053)上,其中,所述第一高度等于一个托盘(12)的高度;所述层叠加盖机构(106)包括第二传输轨道(1063)、布置在第二传输轨道(1063)下方的第二顶升组件(1062)以及布置在第二传输轨道(1063)上方周侧的多个第二分离气缸(1061),多个第二分离气缸(1061)支撑有一摞托盘盖,通过第一传输轨道(1053)将托盘(12)一一运送至第二传输轨道(1063)上,第二顶升组件(1062)向上运动并带动托盘(12)扣合在最下面的一个托盘盖上,此时,多个第二分离气缸(1061)分离后所述第二顶升组件(1062)带动所有托盘盖下降第二高度后多个第二分离气缸(1061)合拢并将除最下端的一个托盘盖之外的其他托盘盖支撑住,所述第二顶升组件(1062)带动扣合托盘盖的托盘(12)继续向下运动将托盘(12)放置到第二传输轨道(1063)上,再通过所述第二传输轨道(1063)将加盖后的托盘(12)运走,其中,第二高度等于托盘盖的高度;还包括第一龙门移载机构(104),所述第一龙门移载机构(104)包括第一支撑梁(1042)以及能够在第一支撑梁(1042)上横向移动的第一承载臂(1043),第一承载臂(1043)的下端设置有第一夹爪组件(1041),所述第一夹爪组件(1041)能够在第一承载臂(1043)上竖向运动,通过控制第一承载臂(1043)带动第一夹爪组件(1041)运动能够将第一夹爪组件(1041)抓取的一摞托盘(12)运送至多个第一分离气缸(1051)支撑的位置;还包括第一抬车机构(102),所述第一抬车机构(102)设置有第一台车支架(1025)、布置在第一台车支架(1025)上的第一承托平台(1023)、能够驱使所述第一承托平台(1023)上下运动的第一抬升电机(1024),在第一抬升电机(1024)的驱使下所述第一承托平台(1023)能够从第一位置到第二位置之间运动,第二位置在第一位置的上方,被运送到第一位置和第二位置之间成摞的托盘(12)能够在通过第一承托平台(1023)运送到第二位置,位于第二位置成摞的所述托盘(12)能够被第一夹爪组件(1041)夹住运走;还包括小车(10),所述小车(10)上配置有支座(15)以及位于支座(15)上的料仓(11),成摞的所述托盘(12)匹配放置在所述料仓(11)中,所述第一抬车机构(102)上设置有安全锁(13),小车(10)上的锁舌在推向第一抬车机构(102)的过程中插入安全锁(13)内停止,踩下小车(10)的刹车(14),小车(10)定位完成;所述小车(10)能够被移动进而使得放置在所述料仓(11)中成摞的所述托盘(12)被运送到第一位置和第二位置之间的位置;在所述第一抬车机构(102)的上方还配置有第一取料平台(103),所述第一取料平台(103)上配置有第一引导孔(1032)以及位于所述第一引导孔(1032)周侧的第一导向柱(1031),当成摞的所述托盘(12)被所述第一承托平台(1023)运送到第二位置的过程中通过所述第一引导孔(1032)并被多个所述第一导向柱(1031)导引限位。

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