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申请/专利权人：山东大学深圳研究院;山东大学苏州研究院;山东大学
摘要：本发明属于神经元感受器领域，提供了透明宽禁带痛觉神经元感受器的制备方法及感知系统。其中，透明宽禁带痛觉神经元感受器的制备方法包括采用透明材质作为衬底；在衬底上铺设具有横向镂空图案的第一掩膜板，通过磁控溅射沉积设定厚度的氧化铟锡层，再去除第一掩膜板，得到氧化铟锡层底部电极；在氧化铟锡层底部电极上，通过磁控溅射沉积设定厚度的氮化铝层，形成介质层；在介质层上铺设具有纵向镂空图案的第二掩膜板，通过磁控溅射沉积设定厚度的氧化铟锡层，再去除第二掩膜板，得到氧化铟锡层顶部电极；氧化铟锡层底部电极与氧化铟锡层顶部电极形成crossbar结构，crossbar结构的每个交叉点形成一个透明宽禁带痛觉神经元感受器。
主权项：1.一种透明宽禁带痛觉神经元感受器的制备方法，其特征在于，包括：采用透明材质作为衬底；在衬底上铺设具有横向镂空图案的第一掩膜板，通过磁控溅射沉积设定厚度的氧化铟锡层，再去除第一掩膜板，得到氧化铟锡层底部电极；在氧化铟锡层底部电极上，通过磁控溅射沉积设定厚度的氮化铝层，形成介质层；在介质层上铺设具有纵向镂空图案的第二掩膜板，通过磁控溅射沉积设定厚度的氧化铟锡层，再去除第二掩膜板，得到氧化铟锡层顶部电极；其中，氧化铟锡层底部电极与氧化铟锡层顶部电极形成crossbar结构，crossbar结构的每个交叉点形成一个透明宽禁带痛觉神经元感受器。
全文数据：
权利要求：
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