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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司
摘要：本公开提供一种导流筒组件及单晶炉，所述导流筒组件包括：导流筒，具有轴向贯通的中空腔，所述导流筒包括轴向相对的顶部和底部；导流筒套筒，套设于所述导流筒的底部，且与所述导流筒轴向贯通；及防污染套筒，所述防污染套筒呈中空筒状、且套设于所述导流筒的中空腔中，所述防污染套筒为石英材质。本公开实施例提供的导流筒组件及单晶炉，能够减少晶棒污染，提高晶棒品质和良率。
主权项：1.一种导流筒组件，其特征在于，包括：导流筒，具有轴向贯通的中空腔，所述导流筒包括轴向相对的顶部和底部；导流筒套筒，套设于所述导流筒的底部，且与所述导流筒轴向贯通；及防污染套筒，所述防污染套筒呈中空筒状、且套设于所述导流筒的中空腔中，所述防污染套筒为石英材质。
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权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安欣芯材料科技有限公司 导流筒组件及单晶炉
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