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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本发明涉及还原炉技术领域，尤其涉及一种多晶硅还原炉包括:底盘和还原炉钟罩；底盘上设置有多对电极；底盘上设置有多个喷嘴；底盘上设置有至少一个排气口；还原炉钟罩能够拆卸地设置在底盘上；还原炉钟罩包括：钟罩本体和附着于钟罩本体的内表面的银板层；银板层通过爆炸焊接工艺固定在钟罩本体的内表面。采用本发明能够改善还原炉的性能，进而提升还原炉的产品质量。
主权项：1.一种还原炉钟罩，其特征在于，包括:钟罩本体和附着于所述钟罩本体的内表面的银板层；所述银板层通过爆炸焊接工艺固定在所述钟罩本体的内表面；所述钟罩本体的内壁为Q235R材质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种还原炉钟罩及多晶硅还原炉
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