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构建有双极晶体管的ESD保护结构及其制造方法 

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申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

摘要:本发明公开了一种构建有双极晶体管的ESD保护结构及其制造方法,属于半导体技术领域,该构建有双极晶体管的ESD保护结构,包括衬底、PMOS管和NMOS管,PMOS管包括N阱和第二P阱,N阱布置在衬底中,第二P阱布置在N阱中,NMOS管包括P阱、第二N阱和第二栅极,N阱布置有第二P阱的一侧与P阱的一侧相接,第二N阱布置在第二P阱的右侧,第二N阱的右侧设置有第二栅极,第二P阱、第二N阱和第二栅极通过第二金属互连线相连,PMOS管用于接入待泄放电流,NMOS管用于接出待泄放电流。通过在PMOS管的源极区和NMOS管的漏极区和第二栅极之间构建通道,插入额外的表面N‑P‑N双极晶体管多路径来转移进入的待泄放电流,提高保持电压。

主权项:1.一种构建有双极晶体管的ESD保护结构,其特征在于,包括衬底、PMOS管和NMOS管,所述PMOS管包括N阱和第二P阱,所述N阱布置在所述衬底中,所述第二P阱布置在所述N阱中,用于作为所述PMOS管的源极区;所述NMOS管包括P阱、第二N阱和第二栅极,所述N阱布置有所述第二P阱的一侧与所述P阱的一侧相接,所述第二N阱布置在所述第二P阱的右侧,用于作为所述NMOS管的漏极区,所述第二N阱的右侧设置有所述第二栅极,其中,所述第二P阱、第二N阱和第二栅极通过第二金属互连线相连,所述PMOS管用于接入待泄放电流,所述NMOS管用于接出待泄放电流。

全文数据:

权利要求:

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